氬氣純度，通常采用氣相色譜儀進(jìn)行分析。隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)建設(shè)的發(fā)展，氬氣生產(chǎn)的單位愈來(lái)愈多，因此，選用合適的氬氣分析用氣相色譜儀成了一些單位迫切需要解決的問(wèn)題。

　　高純氬氣相色譜分析儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。此儀器配備氬離子化(AID)檢測(cè)器，采用帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥。

　　許多大中型空分設(shè)備帶有提氬裝置，其生產(chǎn)的氬氣純度，對(duì)于空分設(shè)備制造廠來(lái)說(shuō)，以出精氬塔的純度為考核要求，不計(jì)入壓氬、充灌等部分造成的影響。

　　但對(duì)于氬氣生產(chǎn)工廠來(lái)說(shuō)，終產(chǎn)品有兩種：一種產(chǎn)品是液態(tài)氬。這種產(chǎn)品的純度基本上可和精氨塔純度保持一致,因?yàn)橐簯B(tài)氫從精氬塔放入貯液槽的過(guò)程中受污染環(huán)節(jié)比較少;另一種產(chǎn)品是氣態(tài)氬。

　　作為載氣的高純氬氣以一定流速流經(jīng)處在高頻振蕩電磁場(chǎng)中的石英管時(shí)，在管外施加1500V高電壓，使石英管內(nèi)氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場(chǎng)振蕩下運(yùn)動(dòng)，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自由程能量，因而氬原子在管內(nèi)被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體，并且氬原子受激發(fā)放電產(chǎn)生弧光。當(dāng)被測(cè)氣體經(jīng)分離柱后進(jìn)入檢測(cè)器中時(shí)，由于*性氣體雜質(zhì)的分子N2，H2，CH4等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發(fā)后產(chǎn)生增強(qiáng)弧光。所產(chǎn)生光的強(qiáng)度變化與被測(cè)成分濃度成正比，故可以借此進(jìn)行雜質(zhì)定量分析。